I primi campi di concentramento furono istituiti in Germania, subito dopo la nomina di Hitler a cancelliere, nel gennaio del 1933. I "Battaglioni d'Assalto" (le SA) insieme alle forze di polizia crearono i campi per poter gestire le masse di persone che erano state arrestate come presunti oppositori del regime. I campi furono realizzati a livello locale in tutta la Germania. Gradualmente, la maggior parte di questi primi campi fu smantellata e sostituita da nuovi campi di concentramento gestiti centralmente e sotto l'esclusivo controllo delle SS (Schutzstaffel, la guardia d'elite del regime nazista). Tra il 1933 e il 1939 furono creati sette grandi campi di concentramento: oltre a Dachau, essi comprendevano Sachsenhausen (1936) a nord di Berlino; Buchenwald (1937) vicino a Weimar; Neuengamme (1938) vicino ad Amburgo; Flossenburg (1938), Mauthausen (1938) e Ravensbrük (1939).
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