1933 年 1 月,希特勒出任德国总理,此后不久,德国建立了第一座集中营。集中营由冲锋队和警察建立,旨在处理被作为帝国所谓的政治反对派而逮捕的大量公民。这些集中营建立在德国各地。渐渐地,这些早期集中营的大多数被解散或被中央建立的集中营代替,纳粹党卫军(Schutzstaffel;纳粹的精选卫队)对这些集中营拥有绝对的管辖权。截至 1939 年,建立了七座大型集中营。除了达豪 (Dachau),其他六座分别是:柏林北部的萨克森豪森 (Sachsenhausen)(建于 1936 年)、魏玛附近的布痕瓦尔德 (Buchenwald)(建于 1937 年)、汉堡附近的诺因加默 (Neuengamme)(建于 1938 年)、浮生堡 (Flossenbuerg)(建于 1938 年)、毛特豪森 (Mauthausen)(建于 1938 年)以及拉文斯布吕克 (Ravensbrueck)(建于 1939 年)。
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