第二次世界大战之后,国际法庭和国内法庭对被控战犯进行了审判。国际军事法庭 (IMT) 对德国纳粹头目的审判在德国纽伦堡举行,由来自同盟国(美国、英国、苏联和法国)的法官主持。1945 年 10 月 18 日到 1946 年 10 月 1 日,国际军事法庭审判了 22 个“主要”战犯,指控的罪行有:破坏和平罪、战争罪、反人类罪以及阴谋策划上述罪行。这些战犯中的十二人被判处死刑,三人被判处终身监禁,四人被判处 10 到 20 年不等的监禁。国际军事法庭裁定其余三人无罪释放。美国军事法庭在纽伦堡对德国高级军官进行了 12 次审判。接受审判者包括医生中的负责人、流动屠杀分队成员、德国司法部门和外交部成员、德军最高统帅部成员、德国的主要企业家。

在 1945 年之后的战犯审判中,大部分涉及到官衔较低的军官和政府官员。战后,四个盟国也立即在各自的德国和奥地利占领区举行了审判。我们对集中营体系的早期知识大部分都来自于这些审判中的人证和物证。德意志联邦共和国(西德)和德意志民主共和国(东德)在分别独立后的数十年中,对纳粹战犯举行过多次审判。很多在二战期间被德国占领或成为德国帮凶、对平民(特别是犹太人)实施迫害的国家,也在战后举行了全国性审判。波兰、前捷克斯洛伐克、苏联、匈牙利、罗马尼亚和法国等国家审判了数千名被告,其中既有德国人,也有当地的同党。1961 年,对阿道夫•艾希曼的审判(驱逐欧洲犹太人计划的总设计师)在以色列一家法庭举行,引起全球瞩目。然而,纳粹时期的很多战犯没有被起诉或惩罚,而是又恢复了正常生活。追捕德国和轴心国战犯的行动今天仍在继续。