پس از جنگ جهانی دوم، دادگاه های بین المللی و داخلی متهمان جنایات جنگی را به پای میز محاكمه كشیدند. محاکمه مقامات بلندپایه آلمانی با حضور قضاتی از نیروهای متفقین (ایالات متحده، بریتانیا، اتحاد جماهیر شوروی، و فرانسه) در دادگاه نظامی بین المللی در نورنبرگِ آلمان برگزار شد. از ١٨ اکتبر ١٩٤٥ تا ١ اکتبر ١٩٤٦، دادگاه نظامی بین المللی ٢٢ تن از جنایتکاران "اصلی" جنگی آلمان را به اتهام جنایت ضد صلح، جنایات جنگی، جنایت علیه بشریت و توطئه برای ارتکاب چنین جنایاتی محاکمه کرد. ١٢ تن از مجرمان به مرگ محکوم شدند؛ سه نفر از متهمان به حبس ابد و چهار نفر دیگر به ١٠ تا ٢٠ سال زندان محکوم شدند. دادگاه سه نفر از متهمان را تبرئه کرد. دادگاه های نظامی ایالات متحده ١٢ تن دیگر از مقامات عالی رتبه آلمان را در نورنبرگ محاکمه کردند. پزشکان اصلی، اعضای "واحدهای سیار کشتار"، اعضای وزارت دادگستری آلمان و وزارت امور خارجه آلمان، برخی از فرماندهان عالی رتبه و کارخانه داران آلمانی از کسانی بودند که محاکمه شدند.

اکثریت قاطع محاكمه های جنایات جنگی که پس از ١٩٤٥ برگزار شد، مربوط به مقامات و مأموران دون پایه بود. در سال های پس از جنگ، چهار کشور اصلی متفقین محاکماتی در نواحی تحت اشغال خود در آلمان و اتریش برگزار کردند. بخش عمده ای از اطلاعات اولیه ما درباره نظام اردوگاه های کار اجباری، از مدارک و شهادت ناظران عینی این محاکمات بدست آمده است. جمهوری آلمان فدرال (آلمان غربی) و جمهوری آلمان دموکراتیک (آلمان شرقی)- در دهه های پس از تأسیس خود به عنوان حکومت های مستقل- محاکمات متهمان دوره نازی ها را برگزار کردند. در سال های پس از جنگ جهانی دوم، در بسیاری از کشورهایی که آلمان طی این جنگ اشغال کرده بود و همچنین در کشورهایی که با آلمانی ها در آزار و اذیت افراد غیر نظامی- بویژه یهودیان- همکاری کرده بودند، محاکمات ملی برگزار شد. لهستان، چکوسلواکی سابق، اتحاد جماهیر شوروی، مجارستان، رومانی و فرانسه و سایر کشورها، هزاران متهم- هم آلمانی ها و هم همدستان محلی آنها- را به محاکمه کشیدند. در سال 1961، محاکمه آدولف آیشمان- معمار اصلی تبعید یهودیان اروپا- در برابر یک دادگاه اسرائیلی انجام گرفت که توجه تمام جهانیان را جلب کرد. با این همه، بسیاری از مجرمان جنایات دوره نازی ها هیچگاه محاکمه یا مجازات نشدند و به آسانی به زندگی عادی خود بازگشتند. در حال حاضر، تعقیب مجرمان جنگی آلمان و متحدین کماکان ادامه دارد.